离子化学热处理：是炉（真空炉）内通入少量与热处理目的适应的气体，在高压直流电场作用下，稀薄的气体放电、起辉加热工件。与此同时，欲渗元素从通入的气体中离解出来，渗入工件表层。

离子化学热处理比一般化学热处理处理速度快，在渗层较薄的情况下尤为显著。离子化学热处理可以进行离子渗氮、离子渗碳、离子碳氮共渗、离子渗硫和离子渗金属。

工艺特点

离子渗氮是目前工业上应用最广、最成熟的离子热处理工艺。零件经离子渗氮处理后，可显著提高材料表面的硬度，使其具有高的耐磨性、疲劳强度，抗蚀能力及抗烧性等。

离子渗氮的特点是：

1、渗层组织和相组成可以控制，通过调整工艺参数，可获得纯扩散层、单相化合物层等。

2、渗速快，生产周期短，可节约时间15%~50%。

3、热效率高，工作气体耗量小，一般可节能30%以上，省气70%~90%。

4、可进行低温（400～500℃）离子渗氮，以及对奥氏体不锈钢无需预处理便可进行离子渗氮。

5、由于离子氮化是在低气压下以离子注入的方式进行，因而耗气量极少（仅为气体渗氮的百分之几），可大大降低处理成本。

6、由于离子氮化是在真空中进行，因而可获得无氧化的加工表面，也不会损害被处理工件的表面光洁度。而且由于是在低温下进行处理，被处理工件的变形量极小，处理后无需再行加工，极适合于成品的处理。